第358章 全力决!选定方向
第358章 全力决!选定方向 (第3/3页)
心中一旦决定的事情,那便会推行到底。
反对!?
就凭林决能够解决光路平整精度的问题,谁还能反对?!
一点不夸张来说。
要给别人,就算是再花几年,再投入数十倍资金,恐怕也无法在此得到现在的成果!
所以......
经费而已.....
就当是国家投资林决的,又能咋滴!?
给林教授花钱的收益预期,可是远远大于经费的!
“好好!辛苦秦主任了!”黄所闻言,连忙说道。
“应该的,黄所你快些把项目相关材料发我,我这边才能开展工作。”
“懂懂懂!我打报告,你批条子。”
秦主任:“......”
..........
而在协和。
胡闻洲也是同时得知了冯宴,以及林决要在材料学方向打造团队的事情。
“这小子......真是想一出是一出啊!”
胡闻洲轻轻呼出一口气,嘴角挂着几分慈祥的笑容。
他挺无奈的。
如果不是林决要在这个方向攒劲,恐怕科学技术中心,光机所那边因为它病情的原因,可能都不会通知他冯教授出事的消息。
...........
EUV光刻胶是属于晶圆端,前道路图形化的核心材料。
也是整套EUV光刻机光路最后作用的对象。
目前谷方绪带领的团队中,这是最重要攻克难点材料之一,和MO/SI多层膜,掩膜保护膜等材料类似,都是国内外代差很多的产品。
“......所以,林教授你是想先搞光刻胶?”
会议结束后没多久。
林决就单独找到了谷方绪,然后让他提交了一份详细工程日志。
而当看到林决讲着重点放在光刻胶方面的材料时,谷方绪忍不住问了句。
林决一边看着文件,一边回答着,
“是的,之前我看胡老的手稿中说......
咱们目前的有机CAR光刻机只停留在实验室和小批量产生,并且LER,随机缺陷,批次一次性等问题,都还比较严重?”