第268章 搬空
第268章 搬空 (第2/3页)
精密的设备。每一寸土地、每一台设备，都价值连城，承载着日本称霸全球半导体市场的野心。就连美国都垂涎不已，想方设法要获取这里的技术。
王建新迈步走进核心生产区，他的神识已经覆盖了整座厂区，每一个车间、每一间实验室、每一台设备的位置，都清清楚楚。
最先被笼罩的，是厂区最核心的ClaSS1级超洁净无尘车间。这里是半导体生产的重中之重，空气经过层层过滤，比手术室还干净几百倍。
王建新站在车间门口，透过玻璃窗往里看。车间里灯火通明，全自动生产线正在运转，机械手臂无声地起落，晶圆在轨道上滑行，没有人，只有机器的运动在静静进行着。
他推开门，走进去。脚下踩着防静电地板，头顶是密密麻麻的通风管道和照明灯。空气里有一股淡淡的臭氧味。
第一台设备，尼康NSR-1505G g线步进光刻机。这是1986年全球分辨率最高、精度最顶尖的光刻设备，整个半导体产线的灵魂。机身重达数吨，稳稳地固定在地面上，四周连接着各种管道和线缆。王建新神识一扫，意念一动，整台设备凭空消失，只留下地面上一个方方正正的印记和几截断开的管线。
紧随其后的是佳能FPA-1500FA缩小投影步进曝光机。两台堪称行业巅峰的光刻设备，瞬间被尽数收走。车间里一下子空出了一大片。
王建新继续往里走。
一整条全自动光刻胶涂布显影生产线出现在眼前。东京电子生产的轨道式一体化涂胶、显影、烘焙联机设备，从晶圆上料、涂胶、烘烤到显影，全流程无人操作。传送轨道、机械臂、旋转涂胶机、热板、冷板，每一台设备都紧密衔接，配合得天衣无缝。王建新神识覆盖上去，整条生产线连同配套的传输轨道、控制系统，瞬间消失。地面上只剩下一排排裸露的螺栓孔。
干法刻蚀车间。日立M206A微波等离子单片式RIE干法刻蚀机，全球首发的设备，是实现芯片精密刻蚀的核心。旁边还有东京电子批量式反应离子腐蚀刻蚀集群，数十台高端刻蚀设备排列整齐，像等待检阅的士兵。王建新一台不落地全部收走，连同配套的真空系统、气体供给系统也一并收入空间。车间里一下子空了，只剩下墙上的操作面板和地上的电缆槽。
热工艺与掺杂区域。东京电子立式全自动高温扩散炉，炉管还散发着余温。日新电子中速大束流离子注入机，体积庞大，管线复杂。高压超纯氧化生长炉，炉门紧闭，透过观察窗能看见里面的红光。这些垄断全球的掺杂与热处理设备，一台台有序地被收入空间，全程保持着设备原本的精密状态，没有一丝磕碰。
薄膜沉积车间。多腔体等离子PECVD化学气相沉积机，磁控溅射金属镀膜机，超高洁净气相外延炉。整套完整的薄膜生长与沉积设备，支撑着芯片内部电路与薄膜结构的制造。王建新神识一扫，全部收走。
再往厂区深处走，是高端检测与封测区域。日立、岛津的超高分辨率SEM扫描电镜，晶圆全自动AOI缺陷检测仪，高精度探针台，全自动金丝球焊
（本章未完，请点击下一页继续阅读）